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利用材料力学及弹性力学法,对石英晶体谐振式力传感器的悬臂梁结构进行了研究,得出了双梁单岛及三梁单岛悬臂梁结构的力转移系数,在与实验结果进行了比较后证明,支承结构的理论推导与实验结果一致.
谐振式力传感器敏感结构的研究
【摘 要】
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利用材料力学及弹性力学法,对石英晶体谐振式力传感器的悬臂梁结构进行了研究,得出了双梁单岛及三梁单岛悬臂梁结构的力转移系数,在与实验结果进行了比较后证明,支承结构的理
【机 构】
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清华大学物理系,北京信息工程学院传感技术研究中心
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2002年2期
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