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蚀刻集成电路引线框原理及其应用
蚀刻集成电路引线框原理及其应用
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ybingh
【摘 要】
:
集成电路的发展,带来了其引线密度的提高。产生了引线框架加工的新工艺-蚀刻法,本文介绍了该法的原理,工艺过程及其推广应用。
【作 者】
:
童雄生
【机 构】
:
宁波华东集成电路元件研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
蚀刻法
引线框
集成电路
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集成电路的发展,带来了其引线密度的提高。产生了引线框架加工的新工艺-蚀刻法,本文介绍了该法的原理,工艺过程及其推广应用。
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