【摘 要】
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近几年，由于计算机能力、速度和图像、数据处理技术的不断提高，极大地推进了３－Ｄ表面微观形貌测量仪的实用化和商品化，同时也增加了研究者对３－Ｄ分析的兴趣。总结了近期文献中出现的３－Ｄ分析
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近几年，由于计算机能力、速度和图像、数据处理技术的不断提高，极大地推进了３－Ｄ表面微观形貌测量仪的实用化和商品化，同时也增加了研究者对３－Ｄ分析的兴趣。总结了近期文献中出现的３－Ｄ分析方法和表征参数，如：基准表面、图形（像）表征、参数表征以及Ｍｏｔｉｆ和分形表征方法，旨在促进我国对３－Ｄ表面研究的发展。最后提出了３－Ｄ表征技术的任务和发展方向。
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