溅射薄膜式压力传感器可靠性的模糊综合量化评价

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本文通过引入模糊综合评价理论,建立溅射薄膜式压力传感器新型可靠性模型,综合评价了目前该类产品的可靠性水平,实现了将含有特种不确定可靠性指标元器件的传感器产品的定量评价.
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