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对目前新出现的几种高精度微变位致动器的性能特点进行了分析，介绍了它们拓高新技术领域，特别是在微纳技术领域中的应用。
新型微变位致动器的发展及应用
【摘 要】
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对目前新出现的几种高精度微变位致动器的性能特点进行了分析，介绍了它们拓高新技术领域，特别是在微纳技术领域中的应用。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1996年2期
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