新型微变位致动器的发展及应用

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:songxin_gkong
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对目前新出现的几种高精度微变位致动器的性能特点进行了分析,介绍了它们拓高新技术领域,特别是在微纳技术领域中的应用。
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