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为了解决二维激光清洗不均和边缘烧蚀过重易使基材受损等问题,在振镜螺旋式面填充清洗路径规划中引入随机偏摆因子,避免了固定扫描轨迹下出现的网状交叉重复烧蚀现象;在扫描周期内对激光频率进行位置调制,以实现边缘附近激光能量的降低,避免边缘区域内因电机减速而导致的过度烧蚀。结果表明:非边缘区域内的随机螺旋扫描使得激光烧蚀点随机分布,避免了单点处的重复烧蚀,边缘处的激光扫描速度减慢且烧蚀能量降低,基材过渡区裂纹的出现概率大幅降低。在随机螺旋扫描路径方式下对清洗系统的激光频率进行位置调制,能有效解决激光烧蚀程度分布不均和清洗易损伤基材等问题。