应变工程在非易失性存储器中的应用

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应变工程一直在整个工业界中得到技术人员的广泛采用,以避开晶体管的等比缩小极限和提高90nm和65nm逻辑技术的量产表现。通过引入膜应力高达~3Gpa的氧化物、氮化物和SiGe,表明技术上已经取得了重大进展。非易失性存储器(NVM)技术当前也面临着等比缩小的物理极限问题,这一极限也可利用应变工程来规避。
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