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本文主要介绍陶瓷传感器微化及集成化方面的进展；指出了集成化多功能传感器存在的技术问题及未来发展趋势。
陶瓷传感器的微型化与集成化
【摘 要】
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本文主要介绍陶瓷传感器微化及集成化方面的进展；指出了集成化多功能传感器存在的技术问题及未来发展趋势。
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所,华中理工大学
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1994年6期
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