Role of Ion Beam Irradiation and Annealing Effect on the Deposition of AlON Nanolayers by Using Pla

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AlON nanolayers are synthesized on Al substrate by the irradiation of energetic nitrogen ions using plasma focusing. Samples are exposed to multiple(5, 10, 15, 20 and 25) focus shots. Ion energy and ion number density range from 80 keV to 1.4 MeV and 5.6&
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