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通过研制的磁控溅射系统,采用射频磁控溅射法,对 SnO2超微粒半导体气敏膜的制备进行了研究,同时对制备的薄膜的气敏性进行了测量分析。扫描电镜分析表明:当溅射气压 PAr=1.20～2.67Pa 时,就能制得超微粒半导体气敏膜。对 C2H5OH 的气敏性研究表明,制备的超微粒膜比普通连续膜的灵敏度有显著提高.