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X光电子能谱成象分析法
X光电子能谱成象分析法
来源 :分析仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:string_lau
【摘 要】
:
简单介绍了三种X光电子能谱(XPS)成象分析的原理,包括平行成象法,X射线束扫描法和静电偏转板扫描法,结合实际经验,讨论了实验方法,用实例说明了XPS成象法在元素成象和记成象中的应用,比较了XPS成
【作 者】
:
赵良仲
刘世宏
【机 构】
:
中国科学院化学研究所,100080
【出 处】
:
分析仪器
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
X光电子能谱
表面分析
XPS
成象原理
【基金项目】
:
国家自然科学基金!29675029
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简单介绍了三种X光电子能谱(XPS)成象分析的原理,包括平行成象法,X射线束扫描法和静电偏转板扫描法,结合实际经验,讨论了实验方法,用实例说明了XPS成象法在元素成象和记成象中的应用,比较了XPS成象与其它成象方法的优缺点。
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