X光电子能谱成象分析法

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简单介绍了三种X光电子能谱(XPS)成象分析的原理,包括平行成象法,X射线束扫描法和静电偏转板扫描法,结合实际经验,讨论了实验方法,用实例说明了XPS成象法在元素成象和记成象中的应用,比较了XPS成象与其它成象方法的优缺点。
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