氮氩气流量比对磁控溅射氮化钛薄膜微观结构的影响

来源 :电镀与涂饰 | 被引量 : 0次 | 上传用户：feifeiml

【摘要】

：

采用扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究了氮气流量(5、10、25、50 sccm)及氮氩气流量比(4∶1、3∶2、2∶3、1∶4)对磁控溅射TiN薄膜微观形貌和相组成的影响。结果显示,所

【作者】

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王槐乾姜宏伟黄海亮王方标左桂鸿郑友进

【机构】

：

牡丹江师范学院

【出处】

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电镀与涂饰

【发表日期】

：

2020年7期

【关键词】

：

氮化钛磁控溅射氮气氩气流量比微观结构颜色 titanium nitridemagnetron sputteringnitrogenargonflow

【基金项目】

：

黑龙江省自然基金(LH2019E126),牡丹江师范学院项目(GP201605),黑龙江省高等教育教学改革项目(SJGY20180528)

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采用扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究了氮气流量(5、10、25、50 sccm)及氮氩气流量比(4∶1、3∶2、2∶3、1∶4)对磁控溅射TiN薄膜微观形貌和相组成的影响。结果显示,所得样品具有纳米级TiN薄膜的基本特征。当N2与Ar的总流量为5 sccm,而它们的流量比为4∶1时,可以制得品质较好的蓝紫色TiN薄膜。

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