垂直腔面发射激光器材料的X射线双晶衍射分析

来源 :长春理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zp_3000

【摘要】

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利用X射线双晶衍射方法,测定了垂直腔面发射激光器(VCSEL)材料的衍射回摆曲线,除了主衍射峰("0"级衍射峰外),还观察到一级和二级卫星峰.同时对实验样品的双晶衍射回摆曲线中

【作者】

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刘文莉李林钟景昌张永明赵英杰郝永琴王勇苏伟晏

【机构】

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长春理工大学

【出处】

：

长春理工大学学报

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

X射线双晶衍射回摆曲线卫星峰 X-Ray Double Crystal Diffraction Rocking Curve Satellite Peak

【基金项目】

：

国防重点实验室基金

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利用X射线双晶衍射方法,测定了垂直腔面发射激光器(VCSEL)材料的衍射回摆曲线,除了主衍射峰("0"级衍射峰外),还观察到一级和二级卫星峰.同时对实验样品的双晶衍射回摆曲线中衍射峰的劈裂现象进行了理论分析."0"级衍射峰半高宽与衬底GaAs的衍射峰半高宽比较接近,表明晶格具有很高的完整性.由这些衍射峰之间的角距离,计算出了VCSEL材料的周期D及Al含量x值.X射线双晶衍射结果表明生长所得结构与设计相符合.

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