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真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究
真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究
来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:songjuan119004
【摘 要】
:
采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应,能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵。该薄膜激活温度很低,
【作 者】
:
蒙峻
杨晓天
张军辉
杨伟顺
何源
赵玉刚
胡振军
郭迪周
【机 构】
:
中国科学院近代物理研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
:
真空科学与技术学报
【发表日期】
:
2009年6期
【关键词】
:
直流磁控溅射
TiZrV抽气层
低温激活
压力分布
Direct current magnetron sputtering
TiZrV pumping coa
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采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应,能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵。该薄膜激活温度很低,最低激活温度为180℃。在经过激活后,实验装置远端的真空度与泵口真空度相同,因此压力分布呈直线型。
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