TiZrV抽气层相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

TiZrV抽气层相关论文

真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究

采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应,能够使真空管道由原来的系统......

期刊

直流磁控溅射 TiZrV抽气层低温激活压力分布 Direct current magnetron sputtering TiZrV pumping coat

真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究

采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应,能够使真空管道由原来的系统......

期刊

直流磁控溅射 TiZrV抽气层低温激活压力分布 Direct current magnetron sputtering TiZrV pumping coa

看过本文同时还关注