基于遗传算法透明介质膜层折射率及厚度在线分析

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针对离线Low-E膜系产品设计及调试过程中对获悉透明介质膜层折射率及厚度的需求,提出依据在线测试膜层膜面反射光谱数据,建立Cauchy光学模型,利用遗传算法进行分析的方法。在线光谱测量装置安装于镀膜设备产品出口端,可以在镀膜玻璃宽度方向测量24个位置、380~780 nm波长范围的光谱,每测量点所需时间小于260 ms。根据Cauchy光学模型及离线Low-E膜系中透明介质膜层的特点,结合遗传算法原理建立分析流程,讨论了遗传算法主要参数对结果的影响。得到的最佳遗传条件为:种群大小为35个个体、遗传迭代40次、精英数量为8个,交叉比例0.2;根据实际生产的膜层膜面反射光谱特征,设立合理的初始值,可以使计算分析结果更正确。 Aiming at the requirement of obtaining the refractive index and the thickness of the transparent dielectric film during the design and debugging of the offline Low-E film product, a method based on the on-line testing of the film surface reflection spectrum data, the establishment of the Cauchy optical model and the genetic algorithm analysis . The on-line spectrometer is mounted on the exit end of the coating equipment to measure the spectrum in the 24-position, 380 to 780 nm wavelength range in the direction of the coated glass at less than 260 ms per measurement point. According to the Cauchy optical model and the characteristics of the transparent dielectric film in the off-line Low-E film system, the analysis flow was established based on the principle of genetic algorithm, and the influence of the main parameters of genetic algorithm on the result was discussed. The optimal genetic conditions were as follows: population size 35 individuals, genetic iteration 40 times, elite number 8, crossover ratio 0.2; according to the actual production of membrane surface reflectance spectral characteristics, the establishment of a reasonable initial value, you can make The result of calculation and analysis is more correct.
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