带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzh787

【摘要】

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针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法.在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础

【出处】

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传感技术学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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微机电系统压膜阻尼带凸条平板解析解 MEMS squeeze film damping plates with raised strips analyti

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针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法.在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础上,利用引入该压膜阻尼系数的Simulink模型仿真分析了微开关的动态响应特性,得到的阈值加速度与其落锤测试结果是一致的,从而验证了所提出的带有凸条平板压膜阻尼效应理论分析的正确性.

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