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通过PECVD虚拟装备仿真系统的研究，构建了系统由虚拟装配仿真、工艺过程仿真和工程分析可视化模块组成的技术结构和软硬件实现平台。以UGNX的二次开发为基础建立几何数据模型库，实现了后续开发的数据类型转换。系统采用虚拟语言和引擎机制驱动场景变换，解释了驱动的原理和实现过程。由等离子场和工程分析可视化的研究，总结了可视化的实现方法。仿真技术的具体应用为PECVD装备的研制提供了有力的理论依据。