论文部分内容阅读
提出一种低成本、结构简单,直径为¢1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸¢1.8 mm×8 mm的压电陶瓷圆棒,马达整体装配外形尺寸¢1.8 mm×12 mm,质量不足0.25 g,稳定工作频带宽,约为3 kHz,最高空载转速不低于500r/min。