【摘 要】
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本文介绍化学通式为Pb[(Sn_(1/3)Nb_(2/3))_A(Zn_(1/3)Nb_(2/3))_BTi_CZr_D〕O_3的四元系压电陶瓷及用此材料制作的滤波器.同时介绍该滤波器所采用的直接耦合双模结构电极图
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所
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本文介绍化学通式为Pb[(Sn_(1/3)Nb_(2/3))_A(Zn_(1/3)Nb_(2/3))_BTi_CZr_D〕O_3的四元系压电陶瓷及用此材料制作的滤波器.同时介绍该滤波器所采用的直接耦合双模结构电极图案的设计和主要工艺.利用上述陶瓷基片和电极图案,以简易的光刻工艺制成了B≤6dB,△B<1dB,△f_(-3dB)≥±110kHz,△f_(-20dB)<630kHz,B_z>30dB的电视伴音中频电路用6.5MHz陶瓷滤波器.
This paper introduces the quaternary piezoelectric ceramics with chemical formula Pb [(Sn_ (1/3) Nb_ (2/3)) __ (Zn_ (1/3) Nb_ (2/3)) _BTi_CZr_D] O_3 Material made of the filter.At the same time introduces the filter used in the direct coupling of dual-mode structure electrode design and the main process.Using the above ceramic substrate and electrode patterns, with a simple lithography process made B ≤ 6dB, △ B <1dB, △ f _ (- 3dB) ≥ ± 110kHz, △ f _ (- 20dB) <630kHz, B_z> 30dB audio frequency circuit with 6.5MHz ceramic filter.
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