【摘 要】
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圆片缺陷检测设备美国ＯＳＩ公司为了提高半导体器件的成品率和控制半导体器件生产的工艺，推出一种ＩＱ－１５５型圆片缺陷检测设备。它能检测圆片全部图形，能检测出小至０．２５μｍ的缺陷。设备工作效率为
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圆片缺陷检测设备美国ＯＳＩ公司为了提高半导体器件的成品率和控制半导体器件生产的工艺，推出一种ＩＱ－１５５型圆片缺陷检测设备。它能检测圆片全部图形，能检测出小至０．２５μｍ的缺陷。设备工作效率为２５圆片／小时。羽中资料来源：Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｗ...
Disc defect detection equipment US OSI Corporation in order to improve the yield of semiconductor devices and control the production process of semiconductor devices, introduced a IQ-155 wafer defect detection equipment. It can detect all the graphics wafer, can detect defects as small as 0.25μm. Equipment working efficiency of 25 wafers / hour. Feather Source: Semiconductorw ...
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