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研究了双离子束沉积ＴｉＣ薄膜的形成，离子束反应溅射膜的显微硬度比ＣＨ４离子束增强沉积膜的显微硬度高，ＸＰＳ，ＴＥＭ和ＴＥＳ分析表明后者硬度低的一个重要原因是ＣＨ４离子束轰击引入过量的自由碳原子。
CH4离子束增强沉积对TiC薄膜显微硬度的影响机制
【摘 要】
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研究了双离子束沉积ＴｉＣ薄膜的形成，离子束反应溅射膜的显微硬度比ＣＨ４离子束增强沉积膜的显微硬度高，ＸＰＳ，ＴＥＭ和ＴＥＳ分析表明后者硬度低的一个重要原因是ＣＨ４离子束轰击引入过量的自由碳原子。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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1994年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金,国家科委八六三项目
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