碳化钛薄膜相关论文
本文研究了电弧离子镀沉积的富碳TiC薄膜.结果表明,在腔体内H和CH气体流量比为1/2和1/1时,两沉积膜层的C和Ti的原子百分比远远超过......
将等离子体浸没离子注入与沉积及射频辉光放电技术相结合,在GCr15轴承钢基体表面制备了碳化钛薄膜,考察了注入脉冲宽度和工作气体......
研究了双离子束沉积TiC薄膜的形成,离子束反应溅射膜的显微硬度比CH4离子束增强沉积膜的显微硬度高,XPS,TEM和TES分析表明后者硬度低的一个重要原因是......
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对脉冲阴极弧金属等离子体源的工作参数进行了测量,研究了离子流与磁导管偏压以及磁场电流与离子流之间的关系,确定了其最佳工作参......