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提出了一种基于Stoney公式测量金属基体上硬质薄膜内应力的应力释放法，并研究了不同基底温度对磁控溅射TiN薄膜内应力的影响。
金属基体上硬质薄膜内应力的释放测量法
【摘 要】
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提出了一种基于Stoney公式测量金属基体上硬质薄膜内应力的应力释放法，并研究了不同基底温度对磁控溅射TiN薄膜内应力的影响。
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2007年6期
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