【摘 要】
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本文详细报导了SP-1型片状磷源用于晶体管发射区扩散的实验方法及实验结果.实验证明片状磷源在扩散均匀性、重复性以及扩散浓度可调节性等方面,均优于三氯氧磷液态源.实验也
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本文详细报导了SP-1型片状磷源用于晶体管发射区扩散的实验方法及实验结果.实验证明片状磷源在扩散均匀性、重复性以及扩散浓度可调节性等方面,均优于三氯氧磷液态源.实验也证明了片状磷源扩散不仅能满足大功率晶体管发射区所要求的深结、高浓度扩散,而且能提高产品成品率和优化电参数.
In this paper, the experimental methods and experimental results of the SP-1 flake-type phosphorus source for the diffusion of the emitter region of a transistor are reported in detail.The experimental results show that the flake-shaped phosphorus source is superior to the diffusion uniformity, repeatability and adjustability of the diffusion concentration Phosphorus oxychloride liquid source.The experiment also proves that the diffusion of flake phosphorus source can not only satisfy the deep junction and high concentration diffusion required by the emitter region of high power transistor but also improve the product yield and optimize the electrical parameters.
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