一种电容型高分子湿度传感器研究

来源 :沈阳工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:betterman_swp
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研究一种电容型高分子湿度传感器,选择了耐热好,抗溶剂腐蚀的聚酰亚胺作湿敏薄膜,制成湿度传感器。对传感器的结构、感湿机理进行了讨论。其工作原理是湿度改变引起聚酰亚胺膜介电系数变化从而导致电容变化。对元件的制造工艺和湿敏特性进行了实验研究。认为这种高分子电容湿度传感器是一种性能优良的传感器。它将有着广阔的应用前景。
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