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采用多孔PtSi结构是提高PtSi探测器量子效率的有效技术途径.介绍了一种高量子效率的PtSi红外探测器,即多孔PtSi红外探测器.叙述了这种探测器的制作方法及器件测试结果,并对测试结果进行了讨论.
多孔铂化硅红外探测器技术
【摘 要】
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采用多孔PtSi结构是提高PtSi探测器量子效率的有效技术途径.介绍了一种高量子效率的PtSi红外探测器,即多孔PtSi红外探测器.叙述了这种探测器的制作方法及器件测试结果,并对测
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
：
半导体光电
【发表日期】
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2004年6期
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