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对硅片直径的发展趋势进行了预测，简述了几种新型加工技术的机理和方法。
大直径硅片加工技术
【摘 要】
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对硅片直径的发展趋势进行了预测，简述了几种新型加工技术的机理和方法。
【机 构】
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电子工业部第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1997年3期
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