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综述了低湿度测量领域的研究现状。从重量法、冷镜式露点法、电解法、大气压电离质谱法、激光吸收法和传感器法等原理阐述了低湿度测量的原理及构造。重量法是公认的准确度最高的湿度绝对测量方法,许多国家根据此原理建立了湿度基准;冷镜式露点仪在许多实验室中用作湿度计量标准;电解法湿度仪具有结构简单、使用寿命长、测量精度较高、测量范围广的特点,适合在气田应用,是天然气中水含量测定的行业标准方法;大气压电离质谱法在测量气体中的微量水分具有高灵敏度与高可靠性的优点;可调谐半导体激光吸收光谱法可以弥补露点仪在响应速度和价格成本