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干扰紫外光技术的蚀刻新法
干扰紫外光技术的蚀刻新法
来源 :中国科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a77115280
【摘 要】
:
英国Southampton大学光电研究中心与苏格兰的Alcatel Optronics公司合作完成新芯片加工技术,技术的最大突破是使用相同刻蚀点,相同的光学设备及设定同时定义出频道光波导与布拉
【出 处】
:
中国科技信息
【发表日期】
:
2003年23期
【关键词】
:
芯片加工
蚀刻
光栅周期
二维干涉仪
干扰紫外光技术
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英国Southampton大学光电研究中心与苏格兰的Alcatel Optronics公司合作完成新芯片加工技术,技术的最大突破是使用相同刻蚀点,相同的光学设备及设定同时定义出频道光波导与布拉格光栅,使芯片定义一步完成。
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