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本文从化学增幅技术的产生,深紫外248nm胶主体树脂及PAG发展历程、溶解抑制剂、存在的工艺问题及解决途径多个方面综述了深紫外248nm胶的发展与进步.
248nm深紫外光刻胶
【摘 要】
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本文从化学增幅技术的产生,深紫外248nm胶主体树脂及PAG发展历程、溶解抑制剂、存在的工艺问题及解决途径多个方面综述了深紫外248nm胶的发展与进步.
【机 构】
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北京化学试剂研究所
【出 处】
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感光科学与光化学
【发表日期】
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2003年05期
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