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磁控溅射的金属光学薄膜特性研究
磁控溅射的金属光学薄膜特性研究
来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hejizhou
【摘 要】
:
一、引言磁控溅射(MS)是一种较新的镀膜技术。由于溅射粒子动能大,薄膜牢固、致密;又由于磁控的作用,可获得较高的沉积速率;同时薄膜可在常温的基板上沉积,并在沉积过程中又
【作 者】
:
叶志镇
【机 构】
:
浙江大学半导体研究所
【出 处】
:
真空科学与技术学报
【发表日期】
:
1989年5期
【关键词】
:
磁控溅射
薄膜特性
金属光学
沉积过程
镀膜技术
金属薄膜
基板
沉积速率
均方根粗糙度
热蒸发
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一、引言磁控溅射(MS)是一种较新的镀膜技术。由于溅射粒子动能大,薄膜牢固、致密;又由于磁控的作用,可获得较高的沉积速率;同时薄膜可在常温的基板上沉积,并在沉积过程中又不导致基板严重温升等许多优点。
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