KLA-Tencor推出叠对计量Archer AIM＋系统

来源 :电子测试：新电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xrf1988

【摘要】

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KLA-Tencor公司日前推出新的叠对计量Archer AIM+系统。该系统能够满足芯片制造商对65纳米节点以下的光刻叠对控制要求。Archer AIM+基于Archer加工平台，与KLA-Tencor的上一代

【出处】

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电子测试：新电子

【发表日期】

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2005年7期

【关键词】

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KLA-Tencor公司计量推出测量不确定性控制要求加工平台 IM系统能力提高加工生产制造商光刻

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KLA-Tencor公司日前推出新的叠对计量Archer AIM+系统。该系统能够满足芯片制造商对65纳米节点以下的光刻叠对控制要求。Archer AIM+基于Archer加工平台，与KLA-Tencor的上一代Archer AIM系统相比，总的测量不确定性(TMU)降低了50％，加工生产能力提高了20％。

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