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在低压卤素输运系统中ZnS:Mn电致发光薄膜的化学气相沉积

来源 :液晶与显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qjbfg123

【摘 要】

：

引言夏普公司首次用电子束(EB)蒸发技术研制了ZnS:Mn薄膜电致发光(TFEL)显示器。从那时起,为了进一步改进薄膜特性对各种沉积技术进行了广泛而深入的研究。为了获得高质量和

【作 者】

：

邸建华 

【出 处】

：

液晶与显示

【发表日期】

：

1989年4期

【关键词】

：

化学气相沉积 ZNS:MN 电致发光薄膜 薄膜特性 发光层 结晶质量 沉积技术 技术研制 高产率 激活中心 

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引言夏普公司首次用电子束(EB)蒸发技术研制了ZnS:Mn薄膜电致发光(TFEL)显示器。从那时起,为了进一步改进薄膜特性对各种沉积技术进行了广泛而深入的研究。为了获得高质量和高产率的EL器件,在制备技术方面必须考虑到两个重要因素;一是要有结晶质量高的发光层,二是要具备大批量生产的设备条件。化学气相沉积法

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