【摘 要】
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光刻是集成电路及其它半导体器件制造的核心工艺,号称关键性和战略性技术。本文首先对光刻的概念及其相关词语的含义进行了探讨,试图澄清一些模糊的认识,而后简要地回顾了光
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光刻是集成电路及其它半导体器件制造的核心工艺,号称关键性和战略性技术。本文首先对光刻的概念及其相关词语的含义进行了探讨,试图澄清一些模糊的认识,而后简要地回顾了光刻技术发展的历史教训,重点讨论90年代的光刻技术及其最佳选择。
Lithography is the core process of manufacturing integrated circuits and other semiconductor devices, known as key and strategic technologies. In this paper, the concept of photolithography and the meaning of related terms are discussed first, trying to clarify some vague understanding, and then briefly reviewing the history of photolithography technology development, focusing on the lithography in the 90’s and its best choice .
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