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通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究,得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。