【摘 要】
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利用多弧离子镀技术、采用Ti-Al-Zr合金靶材在高速钢基片上沉积（Ti,Al,Zr）N超硬反应膜。系统地研究了沉积工艺（偏压、镀膜温度、反应气体压强、弧电流）对膜层组织和性能的影响。
【机 构】
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沈阳远大铝业工程有限公司,辽宁沈阳,110041
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利用多弧离子镀技术、采用Ti-Al-Zr合金靶材在高速钢基片上沉积（Ti,Al,Zr）N超硬反应膜。系统地研究了沉积工艺（偏压、镀膜温度、反应气体压强、弧电流）对膜层组织和性能的影响。根据正交试验法对沉积工艺参数进行设计，制定了合适的实验工艺。根据实验工艺制备了表面比较光洁、平整，组织比较均匀、细致的薄膜。该研究工作表明，采用多弧离子镀技术沉积的（Ti,Al,Zr）N超硬反应膜在较薄的厚度（≤3μm）下，通过沉积工艺优化，可以达到很高的硬度（HV＞3500）、很强的附着力（＞140N）以及良好的常温和高温耐磨性能，达到刀具膜层的高使用性能要求。此外，本课题研究结果也表明，采用Ti-Al-Zr合金靶材制备的（Ti,Al,Zr）N超硬反应膜是可行的，具有良好的工业应用前景。
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