超硬反应膜相关论文
利用多弧离子镀技术、采用Ti-Al-Zr合金靶材在高速钢基片上沉积（Ti,Al,Zr）N超硬反应膜。系统地研究了沉积工艺（偏压、镀膜温度、反应......
利用多弧离子镀技术、采用Ti-Al-Zr合金靶材在高速钢基片上沉积（Ti,Al,Zr）N超硬反应膜。系统地研究了沉积工艺（偏压、镀膜温度、反应......
为了进一步提高超硬反应膜的显微硬度值和耐磨性能,以获得更加优良的综合性能,本文采用Ti-Al-Cr合金靶材,利用多弧离子镀设备,并参......
