超硬反应膜相关论文
利用多弧离子镀技术、采用Ti-Al-Zr合金靶材在高速钢基片上沉积(Ti,Al,Zr)N超硬反应膜。系统地研究了沉积工艺(偏压、镀膜温度、反应......
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为了进一步提高超硬反应膜的显微硬度值和耐磨性能,以获得更加优良的综合性能,本文采用Ti-Al-Cr合金靶材,利用多弧离子镀设备,并参......