【摘 要】
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应用可见光的光弹性原理,我们用自己装置的红外光弹性应力测试仪,初步观测了一些直拉法和区熔法生长硅单晶片,发现有些单晶有明显的分布不均匀的应力存在.并且观测到硅单晶在
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应用可见光的光弹性原理,我们用自己装置的红外光弹性应力测试仪,初步观测了一些直拉法和区熔法生长硅单晶片,发现有些单晶有明显的分布不均匀的应力存在.并且观测到硅单晶在外加应力时的光弹图形,以及在外力除去后应力的残留和释放.
Using the principle of photoelasticity of visible light, we observed the growth of some silicon single crystal by Czochralski method and zone melting method by using the infrared light elasticity tester of our own device, and found that some single crystals have obvious stress distribution with uneven distribution. The photoelastic graph of the silicon single crystal under applied stress was observed, and the residual stress and the release after the external force was removed were observed.
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