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技术开发单位中国科学院电子学研究所技术概述高精度压力传感器采用先进的换能机制,利用单晶硅的良好机械特性,将压力的作用应力转化为机械部件的固有频率并输出。该传感器主要采用以下几项技术:(1)采用基于双谐振器的原位温度自补偿技术,有效解决了传感器的温度漂移问题,实现了全温区0.01%FS精度等级。
高精度硅谐振压力传感器
【摘 要】
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技术开发单位中国科学院电子学研究所技术概述高精度压力传感器采用先进的换能机制,利用单晶硅的良好机械特性,将压力的作用应力转化为机械部件的固有频率并输出。该传感器主
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2019年5期
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