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由硝酸铋和钛酸丁酯原料出发,采用金属有机物热分解法(MOD)制备了铁电钛酸铋薄膜;对先体溶液进行了红外光谱和差热分析,研究了旋转甩胶工艺和烧结温度与膜厚的关系,由X射线衍射和扫描电子显微镜分析了薄膜的物相和断面形貌,得到:在450 ̄650℃较低烧结温度下即可合成钛酸铋致密多晶薄膜。薄膜厚度随烧结温度增高而减小,在500 ̄650℃范围内基本呈线性,温度每增高50℃膜厚减小约5%。