Novel method for detection of anomalous structure characteristics of ID precision ultrathin monocrys

来源 :浙江大学学报:自然科学英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yiqikeren
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The structure characteristics of ID precision uhrathin monoerystaUine silicon section cutting machine-tool spindle with force-monitoring bearings functioning as force measuring sensors were detected with the new Hilbert theory based signal-wave envelope d
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