【摘 要】
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用化学溶液沉积法,以Al2O3为衬底在750℃温度下制备了锰钴镍铜Mn1.56Co（0.96-x）Ni0.48CuxO4系列薄膜.制备温度低于传统烧结工艺需要的温度（1100℃）.采用X射线衍射（XRD）对所制备材料
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
【基金项目】
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上海市优秀学科带头人计划（10XDl404800）,上海市自然科学基金（11ZRl442400）
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用化学溶液沉积法,以Al2O3为衬底在750℃温度下制备了锰钴镍铜Mn1.56Co（0.96-x）Ni0.48CuxO4系列薄膜.制备温度低于传统烧结工艺需要的温度（1100℃）.采用X射线衍射（XRD）对所制备材料的结晶性能进行测量.结果表明,在一定范围内随着铜组分的增加,材料的择优取向发生变化,结晶性能提高且保持立方尖晶石单相结构.根据Scherrer方程和XRD数据计算薄膜的晶粒尺寸,Cu含量的增加导致薄膜晶粒尺寸增大.扫描电镜（SEM）图验证了制备的薄膜材料均匀致密,无裂痕.测量材料的变温I-V特
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