用下一代成像工具加强集成电路诊断能力

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pangpang925

【摘要】

：

1简介rn集成电路器件设计金属层不断增加和向深亚微米工艺发展的趋势使器件诊断面临严峻的挑战.越来越多的金属层使基于表层介入的成像方法变得效率很低,深亚微米技术的采用

【机构】

：

科利登系统公司子公司-Optonics公司,上海

【出处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

成像方法工具集成电路电路诊断深亚微米技术金属层特性分析器件设计工艺发展成像技术工程师复杂度效率功能断面调试表层

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1简介rn集成电路器件设计金属层不断增加和向深亚微米工艺发展的趋势使器件诊断面临严峻的挑战.越来越多的金属层使基于表层介入的成像方法变得效率很低,深亚微米技术的采用进一步增加了成像的难度.下一代成像技术的出现为工程师提供了功能强大的成像方法,从而可以对复杂度不断增加的ICs进行调试和特性分析.rn

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