【摘 要】
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本文叙述了强流脉冲中性源等离子体发生器电源的特殊要求,给出了用于7×35cm~2大面积源的灯丝电源和弧流电源的主电路。
This paper describes the special requirements of
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本文叙述了强流脉冲中性源等离子体发生器电源的特殊要求,给出了用于7×35cm~2大面积源的灯丝电源和弧流电源的主电路。
This paper describes the special requirements of high current pulsed neutral source plasma generator power supply and gives the main circuit of filament power source and arc current source for 7 × 35cm ~ 2 large area source.
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