【摘 要】
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激光双焦干涉球面微观轮廓仅是一种高灵敏度的表面粗糙度测量仪器。本文描述了利用激光双焦透镜偏振共路干涉系统及计算机自动控制系统对各种球面进行实时扫描、采样及数据处
【机 构】
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浙江大学光科系,浙江大学光科系,浙江大学光科系
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激光双焦干涉球面微观轮廓仅是一种高灵敏度的表面粗糙度测量仪器。本文描述了利用激光双焦透镜偏振共路干涉系统及计算机自动控制系统对各种球面进行实时扫描、采样及数据处理的新技术、新仪器。实测表明该仪器的纵向分辨率小于1nm，横向分辨率小于2μm。
The laser bifocal interference spherical microscopic profile is only a highly sensitive surface roughness measurement instrument. This paper describes the new technique and new instrument which uses laser bifocal lens polarization common-mode interferometry system and computer automatic control system to scan, sample and process all kinds of spheres in real time. The measured results show that the longitudinal resolution of the instrument is less than 1nm and the horizontal resolution is less than 2μm.
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