用束流传输理论分析电子光学系统

来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caoshaohua2009
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在电子光学系统中,利用来流传输理论来研究电子透镜.在已知透镜光学参量的基础上,用矩阵传输粒子的方法代替大量电子轨迹的计算,并依此绘制了相空间的发射图和接收图.从相图分析的角度来研究透镜质量. In the electron optical system, the electron lens is studied by using the theory of fluid flow.On the basis of the known optical parameters of the lens, the method of matrix transmission of particles is used instead of the calculation of a large number of electron trajectories, Receive graphs. Study lens quality from phase diagram analysis.
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