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微机械技术及其发展
微机械技术及其发展
来源 :中国科技论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kyunlong
【摘 要】
:
微机械技术及其发展谢国章一、概述微机械是指尺寸在1毫米以下的微型机械。它主要用硅材料和半导体工艺制成,能与微电子集成和接口,能进入其它机械所不能进入的空间。由于它有这
【作 者】
:
谢国章
【出 处】
:
中国科技论坛
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
微型机械
机械工业
技术发展
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微机械技术及其发展谢国章一、概述微机械是指尺寸在1毫米以下的微型机械。它主要用硅材料和半导体工艺制成,能与微电子集成和接口,能进入其它机械所不能进入的空间。由于它有这些特点,所以能在特殊环境中发挥独特的作用,比如能应用于医疗技术领域,解决许多前所不能...
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