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微机械技术及其发展谢国章一、概述微机械是指尺寸在１毫米以下的微型机械。它主要用硅材料和半导体工艺制成，能与微电子集成和接口，能进入其它机械所不能进入的空间。由于它有这些特点，所以能在特殊环境中发挥独特的作用，比如能应用于医疗技术领域，解决许多前所不能...
微机械技术及其发展
【摘 要】
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微机械技术及其发展谢国章一、概述微机械是指尺寸在１毫米以下的微型机械。它主要用硅材料和半导体工艺制成，能与微电子集成和接口，能进入其它机械所不能进入的空间。由于它有这
【出 处】
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中国科技论坛
【发表日期】
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1995年1期
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