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在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中，均需要流量的精细控制和检测系统。在这类注量精细控制和检测系统中，微小型泵是一个基本元件。作者利用上海交通大学研制成功的、由微细加工工艺制备的、直径为２ｍｍ的电磁型微马达作驱动源，并配以电火花加工工艺制备的蜗壳和Ｔｉ合金叶轮制成旋转式微泵。微泵的外形尺寸为Φ４．５×６．５ｍｍ，最大流量可达１２ｍｌ／ｍｉｎ，流量可根据马达转速进行调节。