【摘 要】
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为了提高机床的定位精度,研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位工作台.微定位工作台在滚珠丝杠副驱动的基础上,对工作台进行了二次精定位.给出了
【机 构】
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长春工业大学机电学院,长春市新星锅炉厂
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为了提高机床的定位精度,研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位工作台.微定位工作台在滚珠丝杠副驱动的基础上,对工作台进行了二次精定位.给出了工作台的设计简图,并对其动力学模型进行了分析,结合检测装置和微机控制系统,设计了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位控制系统.实测表明,微定位工作台定位分辨率可达到0.01μm,可满足精密、超精密加工的需要.
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